維修Brooks布魯克斯晶圓拾取機器人razor
收到客戶寄過來的一套Brooks布魯克斯晶圓拾取機器人razor,客戶反映的問題先是不能歸零,掉片,后來開不了機。我們馬上安排故障排查,我們檢查了控制柜978-262-2900、示教器001-1984、電路板S13A-00832和S12H-2187、電池90010-066-G、本體風扇SANYO DENKI San Ace92 9GA0924P4G03、編碼器TT1ENR2-1-TVS-ES、002-0016-34,最終確定了故障是硬盤出了問題,導致系統崩了。
Brooks Razor晶圓拾取機器人提供了半導體制造所需的卓越性能、可靠性和超高清潔度。Razor機器人實現了快速設置、高重復性和穩定性。此外,Razor的機器人手臂結構簡化且高效,采用兩連桿而非傳統的三連桿,適用于無軌道的3-FOUP機器人。
Brooks Razor晶圓拾取機器人特點:
① 第五代直驅技術;
② 支持多種晶圓處理技術,包括高通量被動邊緣接觸技術;
③ 與Equipe和Reliance機器人的兼容性;
④ 用于自定義運動和輸入/輸出序列的拖放序列編輯器;
⑤ 可選的 kinematic 安裝系統,具有一次性的高度和水平調整。
長科智能還維修過如下型號的Brooks Razor晶圓拾取機器人:
MTR 5/VTR 5
MagnaTran 7 SCARA
MagnaTran 7 Frogleg
MagnaTran 7 BiSymmetrik
MagnaTran 7 Leapfrog
MagnaTran 7 Leapfrog(MAG 7 X)
MagnaTran 8 Radius
MagnaTran 8 QuadraFly
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